简介： 本实用新型公开了一种高灵敏压力传感器,它由壳体、硅杯、进气口和引线组成,其主要特征是硅杯上覆盖有硅膜片,硅膜片上设有氧化层,硅杯下部的高压腔与进气口连通,氧化层上设有纳米硅力敏电阻,本实用新型灵敏性高,稳定性好,温度范围宽,可广泛使用于汽车、探矿及军事工程。