简介： 本发明公开了一种钛酸锶钡薄膜材料的制备方 法，该方法采用直流磁控溅射法制备Pt/Ti底电极，采用 BaxSr1－ xTiO3陶瓷靶材 及射频磁控溅射设备，在较低功率下预溅射后，在正常工艺条 件下溅射BST薄膜，然后在O2 气氛中进行慢速热处理，如此重复进行三次；最后，采用直流 磁控溅射在BST薄膜上制备上电极，得到具有夹心结构的材料 样品。采用本发明的方法能得到具有钙钛矿结构、晶粒大小均 匀、铁电性能较好的BST铁电薄膜，该铁电薄膜可用于动态随 机存储器、介质移相器、压控滤波器、热释电红外探测器等领 域。