简介： 本发明涉及一种制备大面积透射电镜样品的方法，将样品切割研磨成长条，然后用氩离子束进行离子切割目标区域厚度到10μm；之后，把样品转移到离子束抛光设备上平整放置，样品台可以调节角度，且能够旋转和摆动，用氩离子束依次用18°、12°、9°、6°、3°角对样品进行抛光减薄，用体视镜可以观察样品变化；最后用低电压的离子束进行样品的清洗，避免了样品制备过程中产生的非晶层，可以获得高质量具有大面积薄区的透射电镜样品，从而应用于矿物、陨石等复杂材料的透射电镜测试和结合纳米粒子探针/电子探针等原位分析技术中。