集成黑硅纳米结构吸收层及多层组合膜结构的敏感元件
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集成黑硅纳米结构吸收层及多层组合膜结构的敏感元件
来源:北方有色网
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简介: 本发明涉及红外气体探测器的敏感元件,具体是一种集成黑硅纳米结构吸收层及多层组合膜结构的敏感元件,进一步提高了热释电薄膜型红外气体探测器的检测性能。所述敏感元件由两块敏感元基片加工获得,其加工方法包括:1、加工第一敏感元基片;2、加工第二敏感元基片;3、加工敏感元件。加工工艺合理,所得敏感元件具备良好的热吸收性能和热响应性能,能用于构建高性能红外气体探测器,满足环境安全、煤矿生产安全、以及危化品气体储运、煤气管道防泄、森林火灾防护、工业安全生产等领域中的监测需要。
本发明涉及红外气体探测器的敏感元件,具体是一种集成黑硅纳米结构吸收层及多层组合膜结构的敏感元件,进一步提高了热释电薄膜型红外气体探测器的检测性能。所述敏感元件由两块敏感元基片加工获得,其加工方法包括:1、加工第一敏感元基片;2、加工第二敏感元基片;3、加工敏感元件。加工工艺合理,所得敏感元件具备良好的热吸收性能和热响应性能,能用于构建高性能红外气体探测器,满足环境安全、煤矿生产安全、以及危化品气体储运、煤气管道防泄、森林火灾防护、工业安全生产等领域中的监测需要。
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