新型晶体管的制作方法
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新型晶体管的制作方法
来源:北方有色网
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简介: 本本发明提供一种新型晶体管的制作方法,将具有介电、铁电、光电、热电、超导、巨磁阻等性能的钙钛矿结构氧化物材料交叉耦合,采用全外延工艺,每层的层厚和载流子浓度都较锗硅晶体管更易控制,结面更锐,加上钙钛矿结构氧化物材料熔点高,稳定性好,钙钛矿结构氧化物晶体管广泛应用于电子器件,尤其是与锰酸镧相关的晶体管对磁场很敏感,与钛酸钡相关的晶体管对热光敏感,因此可制作一些特殊的探测器,也可发展成为钙钛矿结构氧化物集成电路。
本本发明提供一种新型晶体管的制作方法,将具有介电、铁电、光电、热电、超导、巨磁阻等性能的钙钛矿结构氧化物材料交叉耦合,采用全外延工艺,每层的层厚和载流子浓度都较锗硅晶体管更易控制,结面更锐,加上钙钛矿结构氧化物材料熔点高,稳定性好,钙钛矿结构氧化物晶体管广泛应用于电子器件,尤其是与酸镧相关的晶体管对磁场很敏感,与钛酸钡相关的晶体管对热光敏感,因此可制作一些特殊的探测器,也可发展成为钙钛矿结构氧化物集成电路。
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