简介： 本发明公开的后置分光瞳激光差动共焦LIBS光谱显微成像方法与装置，属于共焦显微成像和光谱成像测量技术领域。本发明将后置分光瞳激光差动共焦显微成像技术与激光诱导击穿光谱探测技术结合，利用经超分辨技术处理的后置分光瞳差动共焦显微镜的微小聚焦光斑对样品进行高空间分辨形态成像，利用光谱探测系统对聚焦光斑激发的激光诱导击穿光谱进行微区光谱探测，利用LIBS光谱探测和后置分光瞳差动共焦探测结构融合实现样品微区完整组分信息与形态参数的高空间分辨和高灵敏成像与探测。本发明可为生物医学、材料科学、矿产、微纳制造等领域形态成像及物质组分探测提供一条全新的有效技术途径。