简介： 本发明涉及用热氧化氮化锌制备受主型氧化锌 薄膜材料的方法。在不同衬底上通过高温热氧化氮化锌单晶薄 膜获得p－型氧化锌材料，通过控制氧化温度与热氧化时间来 控制p－型氧化锌材料的受主杂质浓度。利用高温条件下氧易 于替代立方反铁锰矿结构氮化锌中的氮，并形成六方结构p－ 型氧化锌，可实现氮的替位掺杂形成p－型氧化锌，并通过热 氧化氮化锌薄膜制备出受主浓度为6×1016－4×1018cm－3的具有六方结构的p－型氧化锌薄膜材料。方法简单，实验条件可控，可实现对p－型氧化锌电学性质和载流子浓度的控制，以满足制备氧化锌P－N结材料和光电子器件等方面的需要，可用于制备氧化锌紫外发光管、激光二极管、紫外探测器。