ZnO纳米薄膜半导体油墨及其制备方法和应用
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ZnO纳米薄膜半导体油墨及其制备方法和应用
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简介: 本发明属于印刷电子技术领域,具体为一种ZnO纳米薄膜半导体油墨及其制备方法和应用。本发明制备步骤为:首先利用原子层沉积的方法在多孔聚氨酯模板表面生长ZnO纳米薄膜;达到设定的沉积次数后,将包覆有ZnO纳米薄膜的多孔聚氨酯模板进行高温热处理,得到ZnO纳米薄膜;将该薄膜配制成半导体油墨,结合丝网印刷工艺,制备各种电学器件。本发明工艺简单,重复性好,薄膜产量高,配合溶液化的印刷工艺,用于集成电子电路的大面积、低成本制造。
本发明属于印刷电子技术领域,具体为一种ZnO纳米薄膜半导体油墨及其制备方法和应用。本发明制备步骤为:首先利用原子层沉积的方法在多孔聚氨酯模板表面生长ZnO纳米薄膜;达到设定的沉积次数后,将包覆有ZnO纳米薄膜的多孔聚氨酯模板进行高温热处理,得到ZnO纳米薄膜;将该薄膜配制成半导体油墨,结合丝网印刷工艺,制备各种电学器件。本发明工艺简单,重复性好,薄膜产量高,配合溶液化的印刷工艺,用于集成电子电路的大面积、低成本制造。
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