设备、薄膜晶体管及其制造方法
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设备、薄膜晶体管及其制造方法
来源:北方有色网
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简介: 本发明的课题在于提供利用涂布法在所需的区域形成有功能性薄膜且特性和其寿命良好的设备、薄膜晶体管及其制造方法。课题的解决装置为一种设备,其特征在于,具有基板、形成在上述基板上的第一电极、形成在上述第一电极的上方的功能性薄膜、和设置在上述功能性薄膜的上方的第二电极,且在上述功能性薄膜的形成区域的周围还具有膜,所述膜含有含氟的基团与π共轭系通过环烯结构或环烷结构结合而得的化合物。
本发明的课题在于提供利用涂布法在所需的区域形成有功能性薄膜且特性和其寿命良好的设备、薄膜晶体管及其制造方法。课题的解决装置为一种设备,其特征在于,具有基板、形成在上述基板上的第一电极、形成在上述第一电极的上方的功能性薄膜、和设置在上述功能性薄膜的上方的第二电极,且在上述功能性薄膜的形成区域的周围还具有膜,所述膜含有含氟的基团与π共轭系通过环烯结构或环烷结构结合而得的化合物。
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