简介： 本发明公开了一种能够应力调控的石墨烯膜光纤法珀谐振器及其制作方法。该谐振器以石墨烯膜为谐振敏感材料，利用SU‑8光刻胶制作形成一个光纤定位帽，并由光纤端面和吸附于光纤定位帽端面的石墨烯膜形成法布里‑珀罗干涉腔。所述的制作方法将MEMS微加工技术与近紫外光刻技术相结合，首先，在氧化硅基片与形变可控的衬底层之间旋涂PDMS作为释放层，使得衬底层与硅基片的分离变得更容易；之后，在制成的应力调控衬底层的另一侧，旋涂SU‑8光刻胶，并通过光刻技术制作具有台阶式圆筒状内部结构的定位帽以实现光纤的导入与定位；最后，通过环氧树脂胶将插入的光纤与定位帽进行粘合封装。本发明制备得的谐振器具有结构新颖、体积小、薄膜应力可调控等优点。