简介： 一种光纤与光学波导耦合的模斑变换器及其制作方法，其中，模斑变换器包括：沿从光纤到光学波导方向分为第一区域、第二区域和第三区域；第一区域从下到上包括衬底层、键合层、平板光学功能层，在键合层上形成掩埋过渡光波导结构；第二区域从下到上包括衬底层、键合层、完整光学功能层，在键合层上形成掩埋过渡光波导结构，完整光学功能层包含第一区域中的平板光学功能层，在光学功能层上形成单层倒锥过渡光波导结构，沿从光纤到光学波导方向，单层倒锥过渡光波导的宽度以预设方式逐渐增大，结构用于将光从键合层的掩埋过渡光波导耦合至第三区域的光学功能层的光学波导中；第三区域从下到上包括衬底层、键合层、完整光学功能层，在光学功能层上形成光学波导结构。由此，实现了低耦合损耗，大对准容差，低工艺复杂度，低成本和高普适性的模斑变换器方案。