简介： 本申请提供了一种真空干燥装置，包括真空腔室及位于真空腔室内部的支撑件，还包括惰性气体供气口，用于向所述真空腔室内部通入惰性气体。利用本申请提供的真空干燥方法，在器件基板放入真空腔室之前或者干燥完成后，保证整个腔室内部为惰性气氛，有利于后续抽真空干燥过程顺利进行，器件基板上功能墨水的成膜均匀性也得到提高。