光刻胶组合物、制备方法及图案化方法
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光刻胶组合物、制备方法及图案化方法
来源:北方有色网
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简介: 本发明涉及光刻胶领域,尤其涉及一种光刻胶组合物、制备方法及图案化方法。所述光刻胶组合物,包括以下组分:1~10wt%的感光剂;10~20wt%的酚醛树脂;0.1~5.5wt%的添加剂;75~88wt%的溶剂;其中,所述感光剂包括:20~70wt%的式(1)所示的第一感光化合物,20~70wt%的式(2)所示的第二感光化合物,以及1~35wt%的式(3)所示的第三感光化合物。本发明的光刻胶组合物同时保证了分辨率以感度,以满足实际生产的需求。经过试验测试,本发明的光刻胶组合物的分辨率低于2.5微米,且最小分辨率可以达到1.5微米,同时感度较快,有利于精确图案化,提高OLED显示面板的产率。
本发明涉及光刻胶领域,尤其涉及一种光刻胶组合物、制备方法及图案化方法。所述光刻胶组合物,包括以下组分:1~10wt%的感光剂;10~20wt%的酚醛树脂;0.1~5.5wt%的添加剂;75~88wt%的溶剂;其中,所述感光剂包括:20~70wt%的式(1)所示的第一感光化合物,20~70wt%的式(2)所示的第二感光化合物,以及1~35wt%的式(3)所示的第三感光化合物。本发明的光刻胶组合物同时保证了分辨率以感度,以满足实际生产的需求。经过试验测试,本发明的光刻胶组合物的分辨率低于2.5微米,且最小分辨率可以达到1.5微米,同时感度较快,有利于精确图案化,提高OLED显示面板的产率。
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