简介:
描述了一种装置和方法,所述装置和方法使在分离的多段柔性基片材料上的薄膜的精确对准且分辨率高的图案形成,该柔性基片材料从一个鼓展开并在加工后重绕在另一个鼓上。分离的多段基片被夹紧到卡盘上,所述卡盘沿平行于所述基片的长度的方向移动。提供了用于调节所述卡盘的上游和下游的基片的长度变化的调节单元。当夹紧到卡盘时,加工头横跨基片的宽度移动,并且通过使用减少过程和增加过程之一或两者的激光烧蚀、激光照射或喷墨印刷中的一种或其结合来形成图案。
描述了一种装置和方法,所述装置和方法使在分离的多段柔性基片材料上的薄膜的精确对准且分辨率高的图案形成,该柔性基片材料从一个鼓展开并在加工后重绕在另一个鼓上。分离的多段基片被夹紧到卡盘上,所述卡盘沿平行于所述基片的长度的方向移动。提供了用于调节所述卡盘的上游和下游的基片的长度变化的调节单元。当夹紧到卡盘时,加工头横跨基片的宽度移动,并且通过使用减少过程和增加过程之一或两者的激光烧蚀、激光照射或喷墨印刷中的一种或其结合来形成图案。