干燥装置和具备此干燥装置的工件处理单元
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干燥装置和具备此干燥装置的工件处理单元
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简介: 在一个干燥炉(51)内部容纳上下多层热板(52)。在干燥炉(51)前面,靠近上下多层热板(52)开设常开式工件出入口(51a)。另外,在干燥炉(51)后面设置外罩箱(53),在该外罩箱(53)内部,通过靠近多层热板(52)之间的各个间隙里形成通气孔(54a)的分流板连通于炉内空间的排气机构来划分强制排气的排气室(55)。利用这样的干燥装置,可以同时有效干燥多个工件。
在一个干燥炉(51)内部容纳上下多层热板(52)。在干燥炉(51)前面,靠近上下多层热板(52)开设常开式工件出入口(51a)。另外,在干燥炉(51)后面设置外罩箱(53),在该外罩箱(53)内部,通过靠近多层热板(52)之间的各个间隙里形成通气孔(54a)的分流板连通于炉内空间的排气机构来划分强制排气的排气室(55)。利用这样的干燥装置,可以同时有效干燥多个工件。
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