简介： 本发明提供一种可有效地使用材料,同时可形成高质量的有机薄膜的膜形成方法、膜形成装置及使用其制造出的电子装置、电子机器。有机薄膜形成装置(10)备有:溶液供给部(11)、气体供给部(12)、软离子化部(13)、离子分开部(14)、偏转部(15)及成膜部(16)。用软离子化部(13)将应成膜的有机材料形成微细的液滴,同时离子化或使其带电后,使其液滴汽化并生成气体状的拟分子离子。而且,在离子分开部(14)中从拟分子离子中分开有机材料拟分子离子。另一方面,利用形成有机薄膜的电子装置基板上预先形成的电路,向该电子装置基板所形成的多个电极提供所定的附着电压,以使有机材料拟分子离子选择性地附着于所定电极上。