柔性压力传感器及其制作方法
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柔性压力传感器及其制作方法
来源:北方有色网
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简介: 提供了一种柔性压力传感器及其制作方法。该柔性压力传感器包括:柔性电极;复合物电介质薄膜,设置于柔性电极上;高介电常数胶粘层,涂布于复合物电介质薄膜上;泡沫多孔电极,覆盖于高介电常数胶粘层上。本发明采用高介电常数的复合物薄膜为介电层,能够显著提升柔性压力传感器的电容变化量,从而提升柔性压力传感器的灵敏度;同时电容量的增大减小了寄生电容和电磁干扰对柔性压力传感器工作稳定性的影响,提高了抗干扰能力。
提供了一种柔性压力传感器及其制作方法。该柔性压力传感器包括:柔性电极;复合物电介质薄膜,设置于柔性电极上;高介电常数胶粘层,涂布于复合物电介质薄膜上;泡沫多孔电极,覆盖于高介电常数胶粘层上。本发明采用高介电常数的复合物薄膜为介电层,能够显著提升柔性压力传感器的电容变化量,从而提升柔性压力传感器的灵敏度;同时电容量的增大减小了寄生电容和电磁干扰对柔性压力传感器工作稳定性的影响,提高了抗干扰能力。
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