显示基板及其制作方法、显示装置
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显示基板及其制作方法、显示装置
来源:北方有色网
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简介: 本发明公开一种显示基板及其制作方法、显示装置,涉及显示技术领域,为解决通过一次构图工艺同时形成层叠设置的两层功能图形时,无法实现上层功能图形和下层功能图形精确的尺寸对应关系,导致对显示基板的工作性能产生影响的问题。所述制作方法包括:在基底上依次形成层叠设置的第一过渡功能图形、第二过渡功能图形和光刻胶图形,光刻胶图形覆盖第二过渡功能图形的边缘区域;对光刻胶图形进行烘烤,使部分光刻胶图形覆盖第二过渡功能图形的侧表面;以烘烤后的光刻胶图形为掩膜,对第二过渡功能图形进行湿法刻蚀,形成第二目标功能图形,并对第一过渡功能图形进行刻蚀,形成第一目标功能图形。本发明提供的制作方法用于制作显示基板。
本发明公开一种显示基板及其制作方法、显示装置,涉及显示技术领域,为解决通过一次构图工艺同时形成层叠设置的两层功能图形时,无法实现上层功能图形和下层功能图形精确的尺寸对应关系,导致对显示基板的工作性能产生影响的问题。所述制作方法包括:在基底上依次形成层叠设置的第一过渡功能图形、第二过渡功能图形和光刻胶图形,光刻胶图形覆盖第二过渡功能图形的边缘区域;对光刻胶图形进行烘烤,使部分光刻胶图形覆盖第二过渡功能图形的侧表面;以烘烤后的光刻胶图形为掩膜,对第二过渡功能图形进行湿法刻蚀,形成第二目标功能图形,并对第一过渡功能图形进行刻蚀,形成第一目标功能图形。本发明提供的制作方法用于制作显示基板。
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标签:功能材料
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