简介： 本申请公开了一种薄膜传感器及其制备方法，用以提升薄膜传感器的性能。本申请实施例提供的一种薄膜传感器，所述薄膜传感器包括：第一基板、第二基板、以及将所述第一基板和所述第二基板贴合的导电部件；所述第一基板包括：薄膜晶体管，所述第二基板包括：传感器件，所述薄膜晶体管与所述传感器件通过所述导电部件电连接。