非制冷红外器件及其制作方法
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非制冷红外器件及其制作方法
来源:北方有色网
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简介: 本发明涉及红外探测技术领域,具体公开了一种非制冷红外器件,包括:敏感区、悬臂梁、框架、有源器件和金属引线,其中,所述敏感区通过所述悬臂梁与所述框架机械连接,并悬空;所述有源器件位于所述框架上,并通过所述悬臂梁与所述敏感区电学连接;所述金属引线位于所述有源器件上,将有源器件信号引出。本发明还公开了一种非制冷红外器件的制作方法。本发明通过简单的结构以及与器件兼容的MEMS工艺,实现了一种具有开关与放大功能的非制冷红外器件,该器件可与电路分别制造,且后期通过打线集成;从而克服现有的单片集成和3D集成为实现制作,器件和电路的性能需彼此妥协的问题。
本发明涉及红外探测技术领域,具体公开了一种非制冷红外器件,包括:敏感区、悬臂梁、框架、有源器件和金属引线,其中,所述敏感区通过所述悬臂梁与所述框架机械连接,并悬空;所述有源器件位于所述框架上,并通过所述悬臂梁与所述敏感区电学连接;所述金属引线位于所述有源器件上,将有源器件信号引出。本发明还公开了一种非制冷红外器件的制作方法。本发明通过简单的结构以及与器件兼容的MEMS工艺,实现了一种具有开关与放大功能的非制冷红外器件,该器件可与电路分别制造,且后期通过打线集成;从而克服现有的单片集成和3D集成为实现制作,器件和电路的性能需彼此妥协的问题。
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