简介： 本实用新型属于功能材料领域，涉及一种旋转铬硅靶材，其包括背管，背管外设有钎焊层，钎焊层外设有铬硅合金管；背管的一端设有内密封面和卡槽，背管的另一端设有定位槽和法兰。本实用新型安装方便省时，在长时间的工作过程中，能够稳定的旋转，均匀的溅射，不会产生起弧现象，并且杜绝了气孔和积瘤的产生；由于此靶材采用的是内密封方式，背管受力很小，几乎不会产生变形，避免了背管变形导致的靶材开裂现象。