基于梯度预晶化热处理的多层BST薄膜制备方法-功能材料技术-材料制备及加工技术-技术-北方有色网

简介： 基于梯度预晶化热处理的多层BST薄膜制备方法，属于功能材料技术领域。本发明在逐层制备多层BST薄膜的过程中，对逐层制备的BST薄膜进行梯度预晶化热处理。梯度预晶化热处理BST薄膜沿(110)晶面生长、生长均匀缓慢、平均晶粒20～30nm、晶界清晰、晶粒间隙小、光滑致密、无裂纹、无缩孔，介温系数小、频率特性稳定、综合介电性能显著提高。介电常数322～398、调谐率34.5%～46.3%、介电损耗0.55%～0.97%、漏电流密度4.2×10-9～9.0×10-8A/cm2、介温系数1.3×10-3～3.4×10-3/K、优质因子42.9～76.1，可满足BST薄膜的微波实用。

基于梯度预晶化热处理的多层BST薄膜制备方法，属于功能材料技术领域。本发明在逐层制备多层BST薄膜的过程中，对逐层制备的BST薄膜进行梯度预晶化热处理。梯度预晶化热处理BST薄膜沿(110)晶面生长、生长均匀缓慢、平均晶粒20～30nm、晶界清晰、晶粒间隙小、光滑致密、无裂纹、无缩孔，介温系数小、频率特性稳定、综合介电性能显著提高。介电常数322～398、调谐率34.5%～46.3%、介电损耗0.55%～0.97%、漏电流密度4.2×10-9～9.0×10-8A/cm2、介温系数1.3×10-3～3.4×10-3/K、优质因子42.9～76.1，可满足BST薄膜的微波实用。