简介： 一种自清洁玻璃的制备方法及制备装置，属于纳 米功能材料加工领域，其方法为：将 TiCl4汽化后通入玻璃退火窑炉 内所生产玻璃的上方，经热分解在玻璃的上方沉积 TiO2薄膜，用 TiCl4和 O2作为气体先驱体，将含N的气 体加入，经热分解在玻璃上沉积 TiO2薄膜。其装置中液态的 TiCl4 (8)放置在有夹层的密闭容 器(9)中，用于通入O2的管道(3) 通过三通阀(7)一端与喷头(12)联通，用于通入 N2载气的管道(4)的另一端通入 放置密闭容器(9)中液态的TiCl4 (8)中，用于通入N2的管道(1)与 用于通入O2的管道(3)的上端并 联在一起，通过三通阀(7)一端与喷头(12)联通，另一端通入密 闭容器(9)中。