双片式石墨基压阻式柔性压力传感器及其制作工艺
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双片式石墨基压阻式柔性压力传感器及其制作工艺
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简介: 本发明提出了一种双片式石墨基压阻式柔性压力传感器,包括第一纸张以及与其相粘合的第二纸张,所述第一纸张表面与第二纸张表面均涂覆有石墨薄膜,所述第二纸张的上表面设有石墨微纳结构以及与石墨微纳结构相连的微电极。当压力作用在传感器上表面时,上层石墨薄膜会与带有微纳结构的石墨薄膜接触,从而引起其电阻率发生的变化,此外,石墨微纳结构还会受到压缩作用引起其能带变化,从而进一步引起其电阻率发生明显的变化(压阻特性),从而实现了高灵敏度的力传感。相比现有的柔性压力传感器,本发明利用低成本的石墨作为功能材料制作柔性压力传感器并通过微纳结构及微纳接触敏感的方式实现高灵敏的压力传感,降低其响应时间。
本发明提出了一种双片式石墨基压阻式柔性压力传感器,包括第一纸张以及与其相粘合的第二纸张,所述第一纸张表面与第二纸张表面均涂覆有石墨薄膜,所述第二纸张的上表面设有石墨微纳结构以及与石墨微纳结构相连的微电极。当压力作用在传感器上表面时,上层石墨薄膜会与带有微纳结构的石墨薄膜接触,从而引起其电阻率发生的变化,此外,石墨微纳结构还会受到压缩作用引起其能带变化,从而进一步引起其电阻率发生明显的变化(压阻特性),从而实现了高灵敏度的力传感。相比现有的柔性压力传感器,本发明利用低成本的石墨作为功能材料制作柔性压力传感器并通过微纳结构及微纳接触敏感的方式实现高灵敏的压力传感,降低其响应时间。
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标签:功能材料
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