简介:
本发明公开了一种有机气体传感器及其结构,包括基板、第一电极、介质层、敏感薄膜层、第二电极和第三电极,器件中的介质层使用有机功能材料,根据器件结构中各薄膜层和电极位置的不同,器件可以分为顶部接触式和底部接触式两种。本发明采用新型结构提高了气体传感器的集成度、响应速度和响应精度,并且优化了一般气体传感器的制作工艺,降低了工艺要求,提高其性能,大幅降低气体传感器的制备成本及提高设备的可靠性。
本发明公开了一种有机气体
传感器及其结构,包括基板、第一电极、介质层、敏感薄膜层、第二电极和第三电极,器件中的介质层使用有机
功能材料,根据器件结构中各薄膜层和电极位置的不同,器件可以分为顶部接触式和底部接触式两种。本发明采用新型结构提高了气体传感器的集成度、响应速度和响应精度,并且优化了一般气体传感器的制作工艺,降低了工艺要求,提高其性能,大幅降低气体传感器的制备成本及提高设备的可靠性。