简介： 本发明提供了一种表面增强红外吸收衬底及其制备方法，属于功能材料技术领域。本发明利用模板微球光刻加等离子体刻蚀的方式，能够简单、低成本、大面积的制备表面增强红外吸收(SEIRA)衬底，且制备得到的SEIRA衬底中柱体阵列周期性好，保证SEIRA衬底具有较高的增强效率，解决了现有技术中SEIRA衬底无法兼顾低成本和高增强效率的问题。