简介： 亚稳态AlZnO固溶合金薄膜激光烧蚀制作方法属于光学功能材料技术领域。现有用来制作AlZnO固溶合金薄膜的方法十分繁琐。本发明之亚稳态AlZnO固溶合金薄膜激光烧蚀制作方法属于一种Sol‑Gel法，其特征在于，确定AlxZn1‑xO中的x的值为：0＜x＜1，按所述x的值确定乙酸锌和乙酸铝的摩尔比，将所述乙酸锌和乙酸铝溶于有机溶剂，加入与锌离子和铝离子等物质量的乙醇胺，搅拌后得溶胶液；将所述溶胶液旋涂于基片上，低温热处理得凝胶膜；采用激光烧蚀所述凝胶膜，激光功率为5～30W，烧蚀时间为1～1000sec，激光光源出光口与凝胶膜之间的距离为1～50cm，得亚稳态AlZnO固溶合金薄膜。