本发明属于电子
功能材料与器件领域,特别涉及一种同时具有高压电常数和高
储能密度的(Pb,Bi)(Ni,Zr,Ti)O3固溶体铁电薄膜及其制备方法。所述薄膜属于铋系铁电化合物固溶体,其组成为(Pb1-xBix)(Nix/2Zrx/2Ti1-x)O3,其中0
钙钛矿结构。其制备方法为:按照上述化学结构通式称取符合化学计量比的各种原料进行配制,在基底上沉积形成结构致密、成分均匀的铁电薄膜。该薄膜具有优异的介电、铁电和压电性能,尤其该薄膜具有非常高的击穿场强和储能密度,相比目前市场上应用的电容器的储能密度高出一个数量级,在压电器件以及高功率大容量电容器件中有很大的潜在应用前景,更为重要的是利用其同时具有高的压电常数和高的储能密度可以作为压电能量收集和存储的关键材料。