透明热电模块的制备方法
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透明热电模块的制备方法
来源:北方有色网
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简介: 本发明公开了一种透明热电模块的制备方法,属于功能材料及器件领域。本发明所述方法首先采用脉冲激光沉积在双面抛光Al2O3(0001)单晶衬底的其中一个表面淀积P‑CuCr1‑xMgxO2薄膜,淀积过程用镍掩膜板Ⅰ遮挡衬底表面;然后将双面抛光Al2O3(0001)单晶衬底翻转180°,镍掩膜板Ⅰ位置不变,用脉冲激光沉积在单晶衬底的另一表面淀积N‑Zn1‑yAlyO薄膜;最后采用离子溅射在单晶衬底的边缘两侧制备金电极,淀积过程用镍掩膜板Ⅱ遮挡衬底的边缘两侧。本发明制备得到的透明热电模块为P‑CuCr1‑xMgxO2、N‑Zn1‑yAlyO薄膜间呈X形交叉分布,且金电极将P、N型薄膜依次连接成两个串联通路。本发明相比现有薄膜热电模块单位面积上的输出功率增大,衬底和电极材料用量减少,模块在可见光波段透过率高,肉眼观察为透明。
本发明公开了一种透明热电模块的制备方法,属于功能材料及器件领域。本发明所述方法首先采用脉冲激光沉积在双面抛光Al2O3(0001)单晶衬底的其中一个表面淀积P‑CuCr1‑xMgxO2薄膜,淀积过程用掩膜板Ⅰ遮挡衬底表面;然后将双面抛光Al2O3(0001)单晶衬底翻转180°,镍掩膜板Ⅰ位置不变,用脉冲激光沉积在单晶衬底的另一表面淀积N‑Zn1‑yAlyO薄膜;最后采用离子溅射在单晶衬底的边缘两侧制备金电极,淀积过程用镍掩膜板Ⅱ遮挡衬底的边缘两侧。本发明制备得到的透明热电模块为P‑CuCr1‑xMgxO2、N‑Zn1‑yAlyO薄膜间呈X形交叉分布,且金电极将P、N型薄膜依次连接成两个串联通路。本发明相比现有薄膜热电模块单位面积上的输出功率增大,衬底和电极材料用量减少,模块在可见光波段透过率高,肉眼观察为透明。
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标签:功能材料
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