简介： 本发明涉及功能材料技术领域，具体涉及一种硫化镉陶瓷靶材的制备方法。硫化镉陶瓷靶材的制备方法，第一步，原料配制：CdS粉末以及助熔剂；第二步，混合：先将CdC12溶于热水后与PVA水溶液混合均匀，用小喷壶喷洒到CdS粉末中，并充分搅拌均匀；第三步，烘干：将混合好的原料放入干燥箱中烘干；第四步，过筛：将烘干后筛选出30目的粉料颗粒；第五步，困料：过筛后的粉料颗粒密闭困料，确保水分均匀；第六步，成型：将粉料装入模具进行干压成型；第七步，烧结：将压好的样品放入坩埚内进行烧结，采用真空烧结的方式，并真空随炉冷却至室温，制成硫化镉陶瓷靶材。通过本发明制备的靶材试样能满足磁控溅射镀膜工艺对靶材的指标要求。