简介： 本发明提供了一种多金属氧酸盐巨型表面活性剂及其制备方法和应用，属于功能材料技术领域。本发明提供的多金属氧酸盐巨型表面活性剂以多金属氧酸盐(POM)为头部，疏水性的聚苯乙烯(PS)为尾部，相比于已经报道的以有机部分如聚倍半硅氧烷(POSS)，富勒烯(C60)为头部的巨型表面活性剂，本发明设计合成的巨型表面活性剂的头部与尾部之间具有更大的相互作用斥力，该相互作用斥力使其在超薄膜状态下发生的相分离尺寸为10nm左右。同时，所述多金属氧酸盐巨型表面活性剂在发生相分离之后，其与硅基底有很高的刻蚀对比度，可以通过光刻蚀技术对其进行刻蚀，从而能够应用于半导体行业中单个传感器的制造。