简介： 本发明涉及固体废物焚烧废气处理领域，尤其涉及一种用于二噁英处理的低温等离子体装置，包括壳体、至少一个钛丝，所述壳体为筒状结构，所述钛丝平行于所述壳体的轴线设置，所述钛丝与所述壳体内壁之间设有极板组件，所述钛丝的长度不小于所述极板组件的长度，所述壳体一端设有进气组件，所述壳体另一端设有出气组件，所述壳体上设有观察组件；所述极板组件内壁涂覆有碳纳米功能材料。本发明提高了装置内电子密度及能量密度，还能作为催化剂，提高反应选择性，促进反应提高了反应器的降解效率，节约了能源成本。