氧化物陶瓷膜湿敏元件的制造工艺
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氧化物陶瓷膜湿敏元件的制造工艺
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简介: 本发明涉及的是新型氧化物陶瓷膜湿敏材料制成的湿敏元件。其主要特征是以Mg、Ae、Fe、Ti等层状或链层结构的硅酸盐氧化物陶瓷,加入适当的添加剂而配制成湿敏功能材料浆,涂复于梳形电极基片上,经热处理后的该湿敏元件,在0~100%RH范围内,灵敏度高,感湿特征、稳定性、响应性、重复性均好,耐高温,制造方便及成本低。可广泛地运用于高温和常温环境下对湿度精确测量和控制。
本发明涉及的是新型氧化物陶瓷膜湿敏材料制成的湿敏元件。其主要特征是以Mg、Ae、Fe、Ti等层状或链层结构的硅酸盐氧化物陶瓷,加入适当的添加剂而配制成湿敏功能材料浆,涂复于梳形电极基片上,经热处理后的该湿敏元件,在0~100%RH范围内,灵敏度高,感湿特征、稳定性、响应性、重复性均好,耐高温,制造方便及成本低。可广泛地运用于高温和常温环境下对湿度精确测量和控制。
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