简介： 本发明提供一种类金刚石薄膜对钛镍合金的表面改性技术,钛镍合金是较好的人体生物功能材料,在牙科,整形外科等方面广泛应用。但作为植入人体的材料,又存在离子释放,污染组织,引发不良反应等问题。类金刚石薄膜硬度高,有良好生物相容性及润湿性。本发明采用脉冲真空电弧离子源对钛镍合金基片镀制类金刚石薄膜,镀制前对合金基片进行预处理。首先用混合液、超声波以及氩离子源清洗、过滤电弧钛离子源高压加热和镀钛,然后在钛镍合金上镀制一定脉冲的类金刚石薄膜,在其表面制备出与基片结合牢固性好、摩擦系数小、耐磨损、硬度高的类金刚石薄膜。成功地解决了膜厚大于1μm,且结合牢固的问题,此表面改性技术工艺简单,成本低廉,是钛镍合金表面改性非常适用的表面改性技术。