简介： 本发明名称为“透明导电膜的等离子体增强化学气相沉积设备”,属于光电功能材料的规模化生产设备。本发明为实施特殊金属氧化物薄膜的制造技术,着重解决大面积薄膜的性能优良,厚度均匀及废气排放等问题。其特点在于设置了特殊的均压喷口,用接地电极对射频电极进行充分的屏蔽、安装冷阱捕集反应废气。本发明适用于多种氧化物薄膜的大面积制造。