简介： 本发明公开了一种GaN基光伏探测器器件结构的电子学检测方法,该方法是通过测量导电探针与器件结构剖面以及上表面的电位差并进行定标,得出器件结构的表面能带分布;再对得到的表面能带分布进行数值拟合,给出所测台面器件结构的表面电荷密度分布、表面及体内的电场分布等信息。本方法可以对GaN基光伏型探测器件功能材料各个区域的电子学分布特性给予直观的评估;对于改善GaN基光伏探测器件性能和优化器件设计都有重要价值。