简介： 本发明公开了一种耐高温复合透明导电膜、制备方法和应用，属于电子功能材料技术领域。本发明中耐高温复合透明导电膜包括金属透明导电层和碳抗氧化保护层，其中金属透明导电层以银、铜、铝、镍中的一种或多种为镀膜材料，碳抗氧化保护层以石墨为溅射靶材，通过形成类碳烯sp2键构成类石墨烯薄膜，厚度不超过50nm。该复合透明导电膜的电学性能优异，电阻率低于4×10?5Ω·cm，最优可达10?6Ω·cm，且透光性好，可见光透过率达70％，适用于多种金属及包括柔性衬底在内的多种透明基底。采用该复合透明导电膜制备的电极稳定性高，适用于平板显示、太阳能电池、触摸屏等多个电子行业。