简介： 本发明涉及一种利用等离子体激活电子倍增器的方法，属于真空电子技术领域。本发明所述方法是利用等离子体的高反应活性清除电子倍增器表面的污染物，同时等离子体态的氧可以进入电子倍增器的功能材料内部，填补功能材料在大电子束流轰击下形成的缺陷位，从而起到激活性能衰退或失效电子倍增器的作用；与常规的加热退火处理工艺相比，本发明所述方法简化了工艺过程，能够实现电子倍增器功能的快速激活，而且电子倍增器功能的恢复效果更好。