简介： 一种能提高材料结晶品质的组合离子注入技术,属于离子束材料改性的技术领域。使用组合材料技术先在一块拟改性材料的衬底上制备大量的具有各不相同的二次离子注入参数的样品单元,并对该块衬底上的样品单元进行高效、并行的测试,筛选出结晶品质最好的样品单元,该单元对应的二次离子注入参数就是最佳的二次离子注入条件,用最佳的二次离子注入条件对另一块拟改性衬底进行离子束材料改性处理,使拟改性衬底表面的非晶结构能得到最大限度的重结晶,使晶格的完整性能得到最大限度的恢复,从而提高拟改性衬底的结晶品质。有稳定可靠、操作规范、针对性强、易于实现等优点。该技术还可以推广到对半导体功能材料或金属材料氢化或氮化的研究。