简介： 本发明专利公开了一种微型螺旋结构制造方法及其制造装置，包括工位移动平台、竖直运动平台、旋转平台、细棒、牺牲层溶液容器、挤压沉积系统和牺牲层溶解溶液容器，竖直运动平台安装于工位移动平台的运动部分，旋转平台安装于竖直运动平台的运动部分，细棒安装于旋转平台的运动部分，牺牲层溶液容器、挤压沉积系统和牺牲层溶解溶液容器依次顺序放置在工位移动平台的下方，应用于满足微机电系统中对各种功能材料微螺旋结构的制造的需求，该方法通过细棒表面涂覆牺牲层、挤压沉积微螺旋结构和微螺旋结构从细棒分离的步骤制造出各种功能材料的微螺旋结构，相比于传统的微螺旋结构，具有精度高、可制造材料种类多和制造运营成本低的优点。