简介： 本发明属于功能材料与器件领域，具体涉及一种具有籽晶层的锆钛酸钡钙薄膜及其制备方法。所述锆钛酸钡钙薄膜包括基片层、籽晶层和薄膜层，所述籽晶层在所述基片层和薄膜层之间，所述籽晶层和薄膜层的化学通式为Ba(1?x)CaxTi(1?y)ZryO3，其中x=0.01～0.16，y=0.02～0.12。所述制备方法使用低浓度前驱体溶液制备籽晶层，然后再用高浓度前驱体溶液制备锆钛酸钡钙薄膜，解决了锆钛酸钡钙薄膜制备过程中开裂的问题，提高无铅薄膜的压电性和介电性，且低成本和可控，制得的具有籽晶层的锆钛酸钡钙薄膜平整度高，均匀性好，无裂纹，质量高，使其在微机电系统、铁电存储系统或多功能集成器件中得到实际应用。