简介： 本发明属于纳米磁性功能材料技术领域,涉及一种磁性纳米反点阵列薄膜及其制备方法。反点阵列呈高度有序的六方形紧密排列结构,反点呈规则的正六边形或圆形。其制备方法为:用聚苯乙烯微球组装单层胶体晶体模板,在Ar气氛围下通过磁控溅射向模板缝隙间沉积金属,通过调制溅射功率轻易控制反点阵列的形貌,得到所述磁性纳米反点阵列薄膜。本发明的磁性纳米反点阵列薄膜可以兼顾高有序度、高矫顽力和反点形貌可调等基本要素。本发明的制备方法工艺简单、易于操作。本发明所得到的孔径100～500nm的磁性纳米反点阵列薄膜可以广泛用于高密度磁存储介质、高效催化剂及传感器等领域。