简介： 本发明公开了一种飞秒激光真三维微纳加工中心,沿飞秒激光产生放大系统的输出光束方向上设置反射镜,反射镜与输出光束的负向夹角为45°,沿反射后的光轴方向在反射镜下方设置多轴联动微动工作台,在反射镜和多轴联动微动工作台中间的光轴方向上设置聚焦透镜,并在反射镜上方设置CCD传感器,飞秒激光产生放大系统、多轴联动微动工作台、CCD传感器和LCD监视器连接在工控机上。该加工中心能够加工高熔点、高硬度和高脆性等特种功能材料的微纳尺度真三维结构件。