简介： 本发明属于电子功能材料和器件领域,具体涉及钛酸铋钠基铁电薄膜的制备方法。本发明提出的钛酸铋钠-钛酸钡铁电薄膜的制备方法,是一种化学制备方法,即溶胶-凝胶法,其衬底采用Pt/Ti/SiO2/Si,前驱体溶液的浓度控制在0.1M-0.3M之间,通过加入一种新型螯合剂-氨水,获得澄清透明的钛酸铋钠-钛酸钡溶胶,并制备铁电薄膜。本发明的方法采用一种新型螯合剂-氨水,制备钛酸铋钠-钛酸钡铁电薄膜,使得薄膜的性能能够得到优化。