简介： 本发明涉及涉及一种钛酸铋钠基无铅压电薄膜及其制备方法，属于电子功能材料和器件领域。本发明提供的制备方法包括如下步骤：步骤1，将硝酸铋、乙酸钠、乙酸锶加入溶剂，搅拌得溶液A；步骤2，将乙酰丙酮、钛酸四丁酯、九水合硝酸铁、四水合乙酸锰溶于溶剂，搅拌、加热，得溶液B；步骤3，将溶液A与溶液B混合，预处理后得混合液C；以及步骤4，用旋涂法将混合液C涂覆在处理好的基片上，高温处理后，即得(0.72‑x)(Bi_0.5Na_0.5)TiO₃‑0.28SrTiO₃‑xBi(Fe_0.95Mn_0.03Ti_0.02)O₃三元体系钛酸铋钠基无铅压电薄膜。所以，本发明制备得到的压电薄膜表面平整光滑、具有典型的钙钛矿结构、较高的极化强度以及优异的压电性能，同时逆压电系数最高可达179.7皮米/伏，对于开发高性能无铅压电薄膜具有非常重要的意义。