简介： 本发明属功能材料技术领域,具体为一种p型/n型氧化锌薄膜及其制备方法。该薄膜的制备过程是:采用硅(100)作为基底,将其在一水平放置的石英管中加热到设定温度,在将盛有醋酸锌的陶瓷舟推入石英管加热,使其挥发分解,利用空气作为载运气体,将醋酸锌蒸汽输运至硅基底,使其分解沉积成膜。此方法制备的ZnO薄膜具有高载流子浓度,低电阻率特性,且可以通过温度控制,选择制备p型或n型薄膜。