简介： 提供一种把图案形成用材料液体化时,可以抑制气泡发生的液体组合物,以及用该组合物能以高生产率地形成膜图案的成膜装置。本发明的成膜装置,具有:生成含有有机功能材料、溶剂和表面活性剂的液体组合物生成装置S;向基板P喷出由液体组合物生成装置S生成的液体组合物构成的液滴的液滴喷出装置IJ。