简介:
本发明提供一种在通过喷出功能材料而形成功能膜的过程中,可以有效防止其变质的有机EL装置的制造方法及其制造装置、以及有机EL装置、电子机器、液滴喷出装置。在使导入了发光功能材料的功能液滴喷头7相对于基板W进行扫描、选择性地喷出发光功能材料,在基板W上的多个像素区域中分别形成有机EL功能层的有机EL元件的制造方法中,喷出发光功能材料的喷出工艺在惰性气体环境中进行。
本发明提供一种在通过喷出
功能材料而形成功能膜的过程中,可以有效防止其变质的有机EL装置的制造方法及其制造装置、以及有机EL装置、电子机器、液滴喷出装置。在使导入了发光功能材料的功能液滴喷头7相对于基板W进行扫描、选择性地喷出发光功能材料,在基板W上的多个像素区域中分别形成有机EL功能层的有机EL元件的制造方法中,喷出发光功能材料的喷出工艺在惰性气体环境中进行。