简介： 本发明提供了一种功能器件阵列及其制作装置和制作方法，包括：产生系统，所述产生系统用于将生成的声表面驻波作用于功能材料溶液，以使所述功能材料溶液的表面形成液体尖峰阵列；定位系统，所述定位系统用于将目标基板移动至所述功能材料溶液的液体尖峰处，且将所述目标基板的功能区表面阵列与功能材料溶液的液体尖峰阵列对位设置，其中，所述功能材料溶液的液体尖峰与所述目标基板的功能区表面接触，而在所述目标基板的功能区表面处形成功能材料液滴，且所述功能材料液滴挥发后形成所述功能器件。本发明提出了一种新型的制作工艺及装置。无需将功能材料溶液通过喷嘴喷涂，不仅避免了资源的浪费，还实现了高密度功能器件阵列的制备。