简介： 本发明公开了一种基于非互溶功能材料的双枪共喷复合薄膜制备工艺，将非互溶薄膜材料液体分别通过不同喷枪同时向同一靶器件表面喷涂，形成复合薄膜。本发明提供基于两种非互溶材料的复合薄膜制备方法，其优点在于能够将传统溶液成膜工艺无法复合成膜的有机无机材料以“准气态”分散态结合，从而沉积成为有机无机复合薄膜材料。该方法除可应用于制备有机无机材料复合薄膜，还可用于一般成膜、大面积成膜、复杂结构器件成膜、柔性材料成膜，且可应用于化学反应成膜、物理沉积成膜等多种成膜形式。